SCANSIONE AUTOMATICA DI UNA ROI E RICOSTRUZIONE TOPOGRAFICA DELLA SUPERFICIE PER LA CARATTERIZZAZIONE FUNZIONALE
| Parametri strumentali | |
| Obiettivo | 100x |
| Risoluzione Verticale | 1nm |
| Risoluzione laterale | 0.1 µm |
| Misura del campione | |
| Passo (direzione x/y) | 1 µm |
| Lunghezza misurata (direzione x) | 5.5 mm |
| Lunghezza misurata (direzione y) | 2.5 mm |
| Velocità | 200 µm/s |
Nell’immagine sottostante è possibile apprezzare la ricostruzione 3D della superficie misurata con i parametri precedentemente indicati. La scala a fianco permette di apprezzare gli scostamenti di altezza a pseudocolori.
Misure di rugosità su ua ROI e misure del profilo su sezioni di interesse
Viene richiesta l’acquisizione della superficie attorno alla “i” per apprezzarne la ricostruzione 3D e la scala a pseudocolori, da tale ricostruzione e’ possibile estrapolare vari profili e misurarli. Il campione presenta difficolta’ di acquisizione relative alla sua trasparenza e alla microstruttura particolare sopra depositata; tuttavia le caratteristiche laser del Pf-60 lo rendono adatto a effettuare le misure desiderate.
MISURE DI RUGOSITA’ DI UN’AREA (SA)
La figura seguente mostra l’estrazione di un’ area di interesse al fine di eseguire una misura di Areal Roughness. Di seguito sono illustrati i parametri secondo normativa ISO 25178.
MISURE DI RUGOSITA’ E PROFILOMETRIA
In figura e’ stato segnato il profilo da cui sono stati misurate le distanze e le rugosita’
Le figure di cui sopra mostrano la visualizzazione delle misure estratte e i parametri di rugosita’. Nota: e’ stato utilizzato un cut off diverso da normativa perche’ la misura richiesta presenta un’ elevata rugosita’ su di una lunghezza contenuta.
